供应晶圆清洗机

技术特点：
　　1、采用水和空气相结合的二流体注入喷气式雾状清洗来替代传统高压水流冲洗。 
2、台盘使用微孔盘，比陶瓷件材质更结实，不会发生陶瓷块脱落现象，增加使用寿命。
　　3、利用自动离心锁紧的爪子锁紧圆片环,避免清洗时出现甩片现象。
4、真空低于设定值报警，并伴随清洗动作的紧急停止，旋转在7 秒内降为0。
　　5、本设备PC触控方式取代传统键盘，操作更为方便简捷。
6、清洗时间，干燥时间，转速，吹气时间，喷头喷洒范围均可在触屏中数字控制。　 
7、具有自检功能，故障提示功能，出现故障在屏幕中显示原因,可直接进行故障点修复，
大大缩短了维修时间，从而提高了工作效率。
8、本机具有防呆功能，针对重要参数可设有密码保护，避免操作员任意调整，有利于管理。
9、屏幕上可显示当前的工作状态：执行功能，当前转速，**，当前进程等相关参数。
10、可根据客户需求进行设计、制作。